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半導(dǎo)體貼裝工藝與制程工藝中不同工藝環(huán)節(jié)的清洗劑需求分析及技術(shù)要點(diǎn)

在半導(dǎo)體貼裝工藝與制程工藝中,清洗劑的選擇直接影響器件可靠性和生產(chǎn)效率。以下是基于不同工藝環(huán)節(jié)的清洗劑需求分析及技術(shù)要點(diǎn):


一、貼裝工藝中的清洗需求

  1. 芯片粘結(jié)與引線鍵合
    在芯片粘結(jié)(使用導(dǎo)電膠)和引線鍵合(如金線鍵合)過程中,殘留的助焊劑、錫膏或環(huán)氧樹脂需徹底清除。例如,BGA封裝中焊球裝配后需去除殘留焊膏,否則會(huì)導(dǎo)致短路或鍵合失效。

    • 推薦清洗劑:中性水基清洗劑(如合明科技W3110、W3200),能滲透微小間隙(低至15μm),兼容金屬材料(銅、金)且不腐蝕芯片鈍化層。

    • image.png

  2. 模塑封裝前清洗
    模塑前需去除芯片表面及基板上的污染物(如松香、離子殘留),避免塑封后分層或空洞。

    • 技術(shù)要點(diǎn):需關(guān)注清洗劑的表面張力(影響滲透性)和設(shè)備噴淋參數(shù)(壓力、角度),確保Microgap區(qū)域潔凈。


二、制程工藝中的關(guān)鍵清洗環(huán)節(jié)

  1. 晶圓減薄與切割后清洗
    晶圓減薄后需去除切割產(chǎn)生的硅屑和油脂,傳統(tǒng)溶劑型清洗劑逐漸被水基替代。

  2. 功率半導(dǎo)體模塊清洗
    IGBT、DCB基板等功率器件需清除焊接后的助焊劑殘留,防止電化學(xué)腐蝕。

    • 挑戰(zhàn):高溫烘焙后的殘留物更難去除,需專用水基清洗劑(如UNIBRIGHT合明科技系列)配合超聲波或噴淋工藝。


三、清洗劑類型與選型依據(jù)

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  1. 水基清洗劑

    • 優(yōu)勢(shì):環(huán)保(無VOC)、安全性高,適用于在線批量清洗(如SMT鋼網(wǎng)、回流焊治具)。

    • 局限:需嚴(yán)格監(jiān)控濃度(通過在線監(jiān)測(cè)設(shè)備)和壽命,氣霧損耗是主要消耗因素。

  2. 溶劑型清洗劑

    • 場(chǎng)景:精密器件快速干燥需求(如晶圓級(jí)封裝),但存在毒性風(fēng)險(xiǎn)(如氟代烴類)。

  3. 選型關(guān)鍵參數(shù)

    • 污染物類型(錫膏、松香、金屬離子);

    • 材料兼容性(鋁層、鈍化層);

    • 工藝條件(溫度、噴淋壓力)。


四、行業(yè)應(yīng)用案例

  1. SIP系統(tǒng)級(jí)封裝
    堆疊芯片(PoP)需清洗Microgap區(qū)域的助焊劑殘留,合明科技的水基清洗劑通過低表面張力實(shí)現(xiàn)高效滲透。

  2. 汽車電子與醫(yī)療器件
    高可靠性場(chǎng)景(如ECU、心臟起搏器)要求無殘留清洗,需通過潔凈度檢測(cè)(如離子色譜法)驗(yàn)證。


五、未來趨勢(shì)

  • 綠色工藝:水基清洗逐步替代溶劑型,符合RoHS/REACH規(guī)范;

  • 設(shè)備集成化:在線噴淋+濃度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)成為主流,提升清洗穩(wěn)定性。

通過綜合工藝需求、材料特性及環(huán)保要求,選擇適配的清洗劑是提升半導(dǎo)體器件良率的關(guān)鍵。實(shí)際應(yīng)用中建議結(jié)合設(shè)備能力(如超聲波、噴淋)進(jìn)行工藝驗(yàn)證。


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