半導體零部件(1)-真空泵

真空技術是建立低于大氣壓力的物理環(huán)境，以及在此環(huán)境中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技術。真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面。真空獲得設備，即獲得、改善和（或）維持真空環(huán)境的裝置，主要指真空泵，是真空技術中最關鍵的設備種類。

真空相關知識：

真空是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。完全沒有氣體的空間狀態(tài)稱為絕對真空，實際上是不存在的。在真空技術中，常用真空度來衡量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度，通常真空度用氣體的壓力值來表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位為Pa，1Pa壓力是在1平方米的面積上作用1N的力；此外還有標準大氣壓1atm、托Torr、巴Bar等壓力單位。一般認為在標準情況下760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力為1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通常可以把真空度劃分為以下區(qū)段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度劃分范圍及應用領域

真空泵分類及作用機理：

按照工作原理的不同，真空泵分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩大類。

氣體傳輸泵可以被進一步分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿空婵毡脙深?。變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置，氣體在排出前被壓縮?？煞譃橥鶑褪胶托D(zhuǎn)式兩種。動量真空泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或射流，把動量傳輸給氣體或者氣體分子，使氣體連續(xù)不斷的從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡谩?/p>

氣體捕集泵是使氣體分子被吸附或冷凝而保留在泵內(nèi)表面上的一種真空泵，主要包括吸附泵、吸氣劑泵、升華（蒸發(fā)）泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等類型。

表2：氣體傳輸泵的分類及應用

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